Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

dc.contributor.author	Сторижко, В.Е.
dc.contributor.author	Мирошниченко, В.И.
dc.contributor.author	Пономарев, А.Г.
dc.date.accessioned	2017-04-20T13:15:29Z
dc.date.available	2017-04-20T13:15:29Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1815-2066
dc.identifier.other	DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.017
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084
dc.description.abstract	Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто застосування сфокусованих пучків протонів з енергією декількох МеВ в технології виготовлення мікро- та нанорозмірних структур. Показано відмітні особливості взаємодії енергетичних протонів з резистивними матеріалами. Викладені уявлення про сучасний стан технології протонної пучкової літографії та сформульовані перспективи її розвитку.	uk_UA
dc.description.abstract	The application of focusing beams of protons with MeV energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension structures is considered. Difference features of energetic protons interaction with resistive materials are shown. The representation about state of the art of technology of proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Наука та інновації
dc.subject	Світ інновацій	uk_UA
dc.title	Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития	uk_UA
dc.title.alternative	Виготовлення мікро- і нанорозмірних структур з застосуванням протонної пучкової літографії: сучасний стан та перспективи розвитку	uk_UA
dc.title.alternative	Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA