Кузьмин, А.В.; Семененко, В.Е.; Стервоедов, Н.Г.; Посухов, А.С.
(2008)
В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого
датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин ...