Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации

dc.contributor.author	Касимов, Ф.Д.
dc.contributor.author	Исмайлова, С.А.
dc.date.accessioned	2014-11-15T08:41:39Z
dc.date.available	2014-11-15T08:41:39Z
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70828
dc.description.abstract	Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Датчики	uk_UA
dc.title	Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.315.592