Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Тема:
Датчики
УДК:
621.315.592
Посилання:
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
906
Завантажень:
534
Анотація:
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.
