Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Інші назви:
Нанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалу
Thin film deposition on synthetic opal substrate
Thin film deposition on synthetic opal substrate
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
844
Завантажень:
1619
Анотація:
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.
