dc.contributor.author |
Косско, И.А. |
|
dc.contributor.author |
Крючин, А.А. |
|
dc.contributor.author |
Кравец, В.Г. |
|
dc.contributor.author |
Мохнюк, А.А. |
|
dc.contributor.author |
Оберемок, А.С. |
|
dc.date.accessioned |
2013-11-04T18:30:25Z |
|
dc.date.available |
2013-11-04T18:30:25Z |
|
dc.date.issued |
2006 |
|
dc.identifier.citation |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1560-9189 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823 |
|
dc.description.abstract |
Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимического травления. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Досліджено можливість формування інформаційного рельєфу в деяких неметалічних матеріалах, отриманих методом реакційного спікання та гарячого пресування (SiC, SiC+В₄С і Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а також у монокристалічному кремнії. Для отримання мікрорельєфу використано метод плазмохімічного травлення. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
An opportunity of forming the information relief in certain nonmetal materials obtained by a technique of reaction baking and hot pressing (SiC, SiC+В₄С and Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN) as well as in monocrystalline silicon is investigated. For obtaining a microrelief the plasmochemical etching technique is used. |
uk_UA |
dc.description.sponsorship |
Авторы благодарят сотрудников ИПМ НАН Украины Н.Ф. Гадзыру и Л.А. Шипилову за предоставленные образцы керамики. |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|
dc.subject |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
uk_UA |
dc.title |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Формування інформаційного рельєфу в деяких неметалічних матеріалах |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Formation of Information Relief in Certain Nonmetal Materials |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
dc.identifier.udc |
004.85 |
|