Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

dc.contributor.author	Филатов, Ю.Д.
dc.contributor.author	Сидорко, В.И.
dc.contributor.author	Прихна, Т.А.
dc.contributor.author	Филатов, А.Ю.
dc.contributor.author	Боримский, А.И.
dc.contributor.author	Ковалев, С.В.
dc.contributor.author	Куцай, А.М.
dc.contributor.author	Ветров, А.Г.
dc.contributor.author	Полторацкий, В.Г.
dc.date.accessioned	2018-06-15T12:36:13Z
dc.date.available	2018-06-15T12:36:13Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2223-3938
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135587
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
dc.subject	Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения	uk_UA
dc.title	Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA