Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Филатов, Ю.Д. ; Сидорко, В.И. ; Прихна, Т.А. ; Филатов, А.Ю. ; Боримский, А.И. ; Ковалев, С.В. ; Куцай, А.М. ; Ветров, А.Г. ; Полторацкий, В.Г.

Тема: Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135587

Посилання: Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Дата: 2014

Завантажень: 251