Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Кузьмин, А.В. | |
| dc.contributor.author | Семененко, В.Е. | |
| dc.contributor.author | Стервоедов, Н.Г. | |
| dc.contributor.author | Посухов, А.С. | |
| dc.date.accessioned | 2010-08-04T09:30:04Z | |
| dc.date.available | 2010-08-04T09:30:04Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок / А.В. Кузьмин, В.Е. Семененко, Н.Г. Стервоедов, А.С. Посухов // Радіофізика та електроніка. — 2008. — Т. 13, № 2. — С. 214-217. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1028-821X | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/10576 | |
| dc.description.abstract | В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм. Определена структура пленок никеля и зависимость их толщин от резонансной частоты кварцевого кристалла. | uk_UA |
| dc.description.abstract | У роботі розглянуто метод визначення товщини плівки та швидкості її нанесення методом кварцового датчика. Встановлено, що за допомогою резонансного методу стає можливим здійснення безперервного контролю товщин тонких плівок у діапазоні 10-100 нм. Визначена структура плівок нікелю та залежність їх товщин від резонансної частоти кварцового кристалу. | uk_UA |
| dc.description.abstract | This work deals with the methods of thickness measuring of the coated film by means of a quartz sensor. Nickel films thickness dependence on quartz crystal resonance frequency were obtained and graphically presented. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України | uk_UA |
| dc.subject | Радиофизика твердого тела и плазмы | uk_UA |
| dc.title | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок | uk_UA |
| dc.title.alternative | Резонансний метод визначення товщин вакуумно-осаджених тонких плівок | uk_UA |
| dc.title.alternative | Thickness determining of vacuum evaporated thin films by resonance method | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.identifier.udc | 539.234:548 |
