Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2012 (том 14)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2012, № 3
→
Переглянути статтю

Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Крючин, А.А. ; Рубіш, В.М. ; Костюкевич, С.О. ; Мінько, В.І. ; Шепелявий, П.Є. ; Лисюк, В.О. ; Костюкевич, К.В. ; Сурмач, М.А.

Інші назви: Registration Materials for Laser Thermolithography

Тема: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних

УДК: 004.85

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50580

Посилання: Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Підтримка: Автори висловлюють глибоку вдячність співробітникам Інститутів проблем реєстрації інформації і фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України за допомогу у виготовленні зразків носіїв інформації, здійснення запису інформації та обробки носіїв, а також за плідне обговорення результатів досліджень.

Дата: 2012

Завантажень: 428

Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Анотація:

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах.

The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.

Показати повний запис статті