Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2012 (том 14)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2012, № 3
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Крючин, А.А.
dc.contributor.author	Рубіш, В.М.
dc.contributor.author	Костюкевич, С.О.
dc.contributor.author	Мінько, В.І.
dc.contributor.author	Шепелявий, П.Є.
dc.contributor.author	Лисюк, В.О.
dc.contributor.author	Костюкевич, К.В.
dc.contributor.author	Сурмач, М.А.
dc.date.accessioned	2013-10-23T23:51:29Z
dc.date.available	2013-10-23T23:51:29Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	1560-9189
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50580
dc.description.abstract	Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах.	uk_UA
dc.description.abstract	The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.	uk_UA
dc.description.sponsorship	Автори висловлюють глибоку вдячність співробітникам Інститутів проблем реєстрації інформації і фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України за допомогу у виготовленні зразків носіїв інформації, здійснення запису інформації та обробки носіїв, а також за плідне обговорення результатів досліджень.
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Реєстрація, зберігання і обробка даних
dc.subject	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних	uk_UA
dc.title	Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії	uk_UA
dc.title.alternative	Registration Materials for Laser Thermolithography	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	004.85