Багатофункціональний сканувальний зондовий мікроскоп з алмазним вістрям. Нанотехнологічні дослідження при атмосферних умовах

Abstract

Представлена авторська конструкція сканувального зондового мікроскопа (СЗМ), який поєднує операції сканування поверхні та її модифікації. Особливостями приладу є вістря з легованого бором алмазу та електромагнітний механізм вимірювання рівня навантажень при нановзаємодіях вістря з поверхнею зразка. Показано методики комбінованих нанотехнологічних досліджень тонких плівок та результати формування поверхневих наноструктур контактним методом.

Представлена авторская конструкция сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), который объединяет операции сканирования поверхности и ее модификации. Особенностями прибора является острие из легированного бором алмаза и электромагнитный механизм измерения уровня нагрузок при нановзаимодействиях острия с поверхностью образца. Показана методика комбинированных нанотехнологических исследований тонких пленок и результаты формирования поверхностных наноструктур контактным методом.

The author’s design of scanning probe microscope (SPM), which combines surface scanning and modifications is presented. The features of the device are boron doped diamond tip, and electromagnetic mechanism to measure the level of loads during nanointeractions between the tip and the sample surface. The techniques of combined nanotechnology research of thin films and the results of the formation of surface nanostructures with contact method are shown.