Vlasenko, О.V.; Odnodvorets, L.V.; Protsenko, I.Yu.
(Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных ...