Баранов, А.E.; Вострикова, Е.А.; Елизаров, Л.И.; Иванов, А.А.; Ливадный, А.О.; Пастухов, А.Н.; Пташник, А.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Рассматривается возможность получения отрицательных ионов водорода при плазменном травлении углерода в водородной плазме пучково-плазменного разряда. Перспективность использования пучково-плазменного разряда для травления ...