Панфилов, Ю.В.; Самойлович, М.И.; Булыгина, Е.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.