Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізико-технічних проблем матеріалознавства
→
Современная электрометаллургия
→
Современная электрометаллургия, 2009
→
Современная электрометаллургия, 2009, № 3
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Березос, В.А.
dc.contributor.author	Ерохин, А.Г.
dc.date.accessioned	2016-03-08T20:54:57Z
dc.date.available	2016-03-08T20:54:57Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	0233-7681
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96007
dc.description.abstract	Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей.	uk_UA
dc.description.abstract	Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Современная электрометаллургия
dc.subject	Электронно-лучевые процессы	uk_UA
dc.title	Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки	uk_UA
dc.title.alternative	Refining of silicon using the method of electron beam melting	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	669.187.526:51.001.57