About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2015
→
Вопросы атомной науки и техники, 2015, № 1
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Hladkovskiy, V.V.
dc.contributor.author	Fedorovich, O.A.
dc.contributor.author	Polozov, B.P.
dc.contributor.author	Kruglenko, M.P.
dc.date.accessioned	2015-05-25T09:58:44Z
dc.date.available	2015-05-25T09:58:44Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118
dc.description.abstract	The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained.	uk_UA
dc.description.abstract	Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах.	uk_UA
dc.description.abstract	Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Institute for Nuclear Research of NASU	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии	uk_UA
dc.title	About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields	uk_UA
dc.title.alternative	Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями	uk_UA
dc.title.alternative	Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA