Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода

Abstract

Приведен краткий обзор результатов работ Харьковского физико-технического института в области синтеза плёнок алмазоподобного аморфного углерода (а-С) вакуумно-дуговым методом. Основное внимание уделено результатам исследований и разработок, основных физико-механических свойств и служебных характеристик плёнок, полученных с применением источников вакуумно-дуговой эрозионной плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала (графита). Приведены данные об областях применения а-С плёнок в настоящее время, о потенциальных возможностях и перспективах практического использования вакуумно-дуговых технологий формирования а-С плёнок с учётом последних разработок технологического оборудования, осуществляемых в ХФТИ.

Приведено короткий огляд результатів робіт Харківського фізико-технічного інституту в області синтезу плівок алмазоподобного аморфного вуглецю (а-С) вакуумно-дуговим методом. Основна увага приділена результатам досліджень і розробок основних фізико-механічних властивостей і службових характеристик плівок, отриманих із застосуванням джерел вакуумно-дуговой ерозійної плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу (графіту). Приведено дані про області застосування (а-С) плівок у даний час, про потенційні можливості і перспективи практичного використання вакуумно-дугових технологій формування (а-С) плівок з урахуванням останніх розробок технологічного устаткування, здійснюваних у ХФТІ.

The brief review of the Kharkov Institute of Physics and Technology works in the field of diamond-like amorphous carbon films (а-С) synthesis by a cathodic vacuum - arc method is given. The basic attention is given to investigation and developments of the main physico-mechanical properties and working characteristics of films obtained with application of vacuum - arc erosive plasma filtered from macroparticles of a cathode material (graphite). The data about fields of а-С films application, about potential possibilities and perspectives of practical use of vacuum - arc technologies of а-С films synthesis are given in view of last developments of the process equipment developed by KIPT.