Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr

Abstract

Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пленок Ni/Mo и Ni/Cr и сделан вывод о неполном сохранении индивидуальности отдельных слоев непосредственно после конденсации образцов. Получено, что величина коэффициента тензочувствительности двухслойных пленок лежит в пределах от 3 до 8 единиц, причем при увеличении общей толщины пленки монотонно уменьшается.

Вивчений ефект тензочутливості, дифузійні процеси і фазовий склад двошарових плівок на основі Ni і Mo або Ni і Cr. На основі досліджень методом ВІМС проведений розрахунок ефективних коефіцієнтів взаємної дифузії атомів. Методом електронної мікроскопії вивчений фазовий склад двошарових плівок Ni/Mo і Ni/Cr і зроблений висновок про неповне збереження індивідуальності окремих шарів безпосередньо після конденсації зразків. Одержано, що величина коефіцієнта тензочутливості двошарових плівок лежить в межах від 3 до 8 одиниць, причому при збільшенні загальної товщини плівки монотонно зменшується.

The effect of strain deformation, diffusion processes and phase composition of double-layer films base on Ni and Mo or Ni and Cr is studied. On the basis of researches by SIMS method the calculation of effective coefficients mutual diffusion of atoms is produced. The method of electronic microscopy studies phase composition of the double-layer films Ni/Mo and Ni/Cr and conclusion about partially saving of individuality separate layers directly after condensation of standards is done. It is got, that the size of coefficient strain deformation of double-layer in limits from 3 to 8 units, thus at the increase of general thickness of film monotonous decrease.