Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
Тема:
Low temperature plasma and plasma technologies
Інший ID:
PACS: 52.77.-j
Посилання:
Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ.
Дата:
2002
Переглядів:
894
Завантажень:
579
Анотація:
This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology.
