Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Тема:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
УДК:
546.25.-162
Посилання:
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
Дата:
2000
Переглядів:
891
Завантажень:
579
Анотація:
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення.
