Нанесение покрытий на сложнопрофильные прецизионные поверхности газофазным методом (CVD)

Abstract

Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений (карбонилы хрома, молибдена, вольфрама, соединения на основе алюминия), а также летучих органических соединений (бензол, толуол). Покрытия наносились на термообработанные стали технического назначения Х12Ф1 и 25Х2МФ (ЭИ10) с высоким классом чистоты обработки поверхности (>10). Средняя скорость нанесения покрытия – 50 μм/час. Определены оптимальные условия осаждения для различных использованных технологических схем. Проведены металлографические исследования полученных покрытий.

Розроблений процес нанесення покриттів методом газофазного осадження з використанням металорганічних сполук. Описані конструктивні особливості обладнання для піролізу металорганічних сполук (карбоніли хрому, молібдену, вольфраму, сполук на основі алюмінію), а також летючих органічних сполук (бензол, толуол). Покриття наносили на термооброблені сталі технічного призначення Х12Ф1 та 25Х2МФ (ЭИ10) з високим класом чистоти обробки поверхні (>10). Середня швидкість нанесення покриття – 50 μм/год. Визначені оптимальні умови осадження для різних використаних технологічних схем. Проведені металографічні дослідження отриманих покриттів.

Production processes of multi-layered Mo-C coatings by the method of chemical vapor deposition (CVD) with the use of organometallic compounds were developed. Construction features of equipment for pyrolisys of metallorganic compounds (chromium, molybdenum, tungsten carbonyls and volatile aluminum containing compounds) and volatile organic compounds (benzole toluene) were described. Coatings are applied on technical purpose steel Х12Ф1 (DIN 1.2379) and 25Х2МФ (ЭИ10) (DIN 21 CrMoV 5-7) heat-treated ball with the high class of surface roughness (>10). The average deposition rate was 50 μм/h. The optimal conditions of coatings deposition for different technological schemas were defined. Metallographic investigations of the obtained coatings were carried out.