Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Дружинін, А.О.
dc.contributor.author Нічкало, С.І.
dc.contributor.author Когут, Ю.Р.
dc.contributor.author Вуйцик, А.М.
dc.date.accessioned 2015-01-27T13:04:23Z
dc.date.available 2015-01-27T13:04:23Z
dc.date.issued 2011
dc.identifier.citation Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію / А.О. Дружинін, С.І. Нічкало, Ю.Р. Когут, А.М. Вуйцик // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 933-940. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. uk_UA
dc.identifier.issn 1816-5230
dc.identifier.other PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/75194
dc.description.abstract Наведено результати експериментальних досліджень з вирощування ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження (CVD) в закритій бромідній системі та відкритій проточній системі. У результаті одержано ННК кремнію з середнім діяметром ≅ 100 нм. Показано, що поперечний розмір ННК прямо пропорційно залежить від товщини попередньо напорошеної плівки золота. uk_UA
dc.description.abstract The results of experimental studies of silicon nanowires (NW) growth by the chemical vapour deposition (CVD) method in the opened and closed bromide systems according to ‘vapour—liquid—solid’ (VLS) mechanism are presented. As a result of experiment, the Si NW with average diameter of ≅ 100 nm are grown. As shown, a cross section of the Si NW is directly proportional to thickness of preliminary-deposited gold film. uk_UA
dc.description.abstract Представлены результаты экспериментальных исследований по выращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния методом химического парового осаждения (CVD) в закрытой бромидной системе и открытой проточной системе. В результате получены ННК кремния со средним диаметром ≅ 100 нм. Показано, что поперечный размер ННК прямо пропорционально зависит от толщины предварительно напылённой плёнки золота. uk_UA
dc.language.iso uk uk_UA
dc.publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
dc.title Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис