Особливості тензорезистивних властивостей тонких металевих плівок при пружній і пластичній деформації

Abstract

Представлено результати експериментальних досліджень тензорезистивного ефекту в одношарових плівках і дво- та тришарових плівкових системах на основі Cr і Cu або Fe та Pd і Gd в інтервалі дводеформації Δεl1 =0—1% і Δεl2 = 0—2%. Проаналізовано залежність межі переходу від пружньої до пластичної деформації в досліджуваних плівках від товщини та концентрації компонентів у багатошарових плівкових системах. Встановлено, що пластична деформація в одному з шарів плівкової системи може викликати аналогічну деформацію у всій плівковій системі, навіть якщо для інших шарів діяпазон деформації ще не досягнув межі переходу пружня—пластична деформація.

The results of experimental studies of tensoresistive effect in single-layer films and two- and three-layer film systems based on Cr and Cu or Fe and Pd and Gd in intervals of two-deformation occurrence, Δεl1 = 0—1% і Δεl2 = 0—2%, are presented. The dependence of the limit of transition from elastic-to-plastic deformation in the studied films on thickness and concentration of components in the multilayer film systems is analysed. As revealed, the plastic deformation in one of the film-system layers can cause similar deformation in the entire film system, even if, for other components, the strain range does not reach the limit of the elastic—plastic deformation transition.

Представлены результаты экспериментальных исследований тензорезистивного эффекта в однослойных плёнках и двух- и трёхслойных плёночных системах на основе Cr и Cu или Fe и Pd и Gd в интервале двудеформации Δεl1 = 0—1% и Δεl2 = 0—2%. Проанализирована зависимость границы перехода от упругой к пластической деформации в исследуемых плёнках от толщины и концентрации компонентов в многослойных плёночных системах. Установлено, что пластическая деформация одного из слоёв плёночной системы вызывает аналогичную деформацию во всей плёночной системе, даже если для других слоёв диапазон деформации ещё не достиг границы перехода упругая—пластическая деформация.