Агаев, Ф.Г.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента ...