Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001 за темою "Новое технологическое оборудование для микроэлектроники"

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001 за темою "Новое технологическое оборудование для микроэлектроники"

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования 
    Дудник, С.Ф.; Залюбовский, И.И.; Сагалович, А.В.; Сагалович, В.В.; Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
    Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые ...
  • Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления 
    Будянский, А.М.; Фареник, В.И.; Яцков, А.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
    Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в ...
  • Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра 
    Ковтун, Г.П.; Кравченко, А.И.; Щербань, А.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
    Изложены особенности разработанной установки для выращивания монокристаллов GaAs диаметром 80—100 мм под слоем флюса в условиях низкого температурного градиента. Монокристаллы GaAs характеризуются низкой плотностью дислокаций ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис