Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке

dc.contributor.author	Сокол, В.А.
dc.contributor.author	Воробьева, А.И.
dc.date.accessioned	2014-11-11T19:59:19Z
dc.date.available	2014-11-11T19:59:19Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.citation	Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке / В.А. Сокол, А.И. Воробьева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 40-45. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70741
dc.description.abstract	Представлены результаты исследований процесса локального формирования пористого анодного оксида алюминия и его сплавов. Разработан технологический процесс формирования защитной маски, устойчивой при толстослойном электрохимическом анодировании сплавов алюминия в процессе изготовления алюминиевой подложки с теплоотводящими столбиками и контактными переходами.	uk_UA
dc.description.sponsorship	Авторы благодарят сотрудников фирмы РСВ Дрора Гурвица и Аллу Вепрински за помощь, оказанную при проведении экспериментов по профилометрии.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технология производства	uk_UA
dc.title	Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.382.822