Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002 за темою "Новое технологическое оборудование для микроэлектроники"

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002 за темою "Новое технологическое оборудование для микроэлектроники"

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Диодные реакторные системы микротравления 
    Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
    Выполнены разработки малоэнергоемкого плазменного технологического оборудования на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты ...
  • Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” 
    Савицкий, Г.В.; Бончик, А.Ю.; Ижнин, И.И.; Кияк, С.Г.; Могиляк, И.А.; Тростинский, И.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
    Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях ...
  • Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов 
    Дудин, С.В.; Яцков, А.П.; Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
    Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис