Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца

Abstract

Описано взаимодействие и рассеяние частиц износа в зоне контакта инструмента и обрабатываемой детали в процессе полирования и объяснена осцилляторная структура рассеяния частиц износа инструмента на частицах шлама и на частицах износа. Показано, что дифференциальное сечение рассеяния частиц износа на частицах шлама, равно как и на частицах износа, максимально при рассеянии вперед на центральных участках контактной зоны. Рассчитаны координатная зависимость дифференциального сечения рассеяния частиц износа инструмента и зависимость высоты микропрофиля обработанной поверхности детали от радиуса круговых зон. Показано соответствие экспериментальной и теоретической кривых микронеровностей профиля полированной поверхности детали из кварца.

Описано взаємодію та розсіювання часточок зносу в зоні контакту інструмента і деталі в процесі полірування та пояснено осциляторну структуру розсіювання часточок зносу інструмента на часточках шламу і часточках зносу. Показано, що дифе-ренціальний переріз розсіювання часточок зносу на часточках шламу, так само як на часточках зносу, максимальний при кутах розсіювання вперед на центральних ділянках контактної зони. Розраховано координатну залежність диференціального перерізу розсіювання часточок зносу інструмента та залежність висоти мікропрофілю обробленої поверхні деталі від радіуса кругових зон. Показано відповідність експериментальної та теоретичної кривих мікронерівностей профілю полірованої поверхні деталі з кварцу.

The paper describes the interaction and scattering of wear particles in the tool–workpiece contact zone in the course of polishing and explains the oscillatory structure of scattering of the tool wear particles on debris particles and on wear particles. The differential cross-section of scattering of the wear particles on the debris particles as well as on the wear particles is shown to be maximum in the case of forward scattering at the central areas of the contact zone. The authors have calculated the coordinate dependence of the differential crosssection of scattering of tool wear particles and the dependence of the polished surface microprofile height on the radius of circular areas. The theoretical curve of polished surface profile microirregularities is shown to fit well the experimental one for a quartz workpiece.