Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Дуб, С.Н. |
|
dc.contributor.author |
Гончаров, А.А. |
|
dc.contributor.author |
Петухов, В.В. |
|
dc.date.accessioned |
2014-05-31T19:15:15Z |
|
dc.date.available |
2014-05-31T19:15:15Z |
|
dc.date.issued |
2009 |
|
dc.identifier.citation |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
0203-3119 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63380 |
|
dc.description.abstract |
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N. |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Сверхтвердые материалы |
|
dc.subject |
Получение, структура, свойства |
uk_UA |
dc.title |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
dc.identifier.udc |
549.2:539.1 |
|
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті