Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов

dc.contributor.author	Спирин, В.Г.
dc.date.accessioned	2014-02-14T23:30:38Z
dc.date.available	2014-02-14T23:30:38Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56242
dc.description.abstract	С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технология производства	uk_UA
dc.title	Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов	uk_UA
dc.title.alternative	Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів	uk_UA
dc.title.alternative	Evaluation of errors in thin-film component manufacturing	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA