Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского
Інші назви:
Обладнання для вирощування в виробництві напівізолюючого GaAs за методом Чохральського
The equipment for production SI-GaAs by LEC method
The equipment for production SI-GaAs by LEC method
Тема:
Техническая политика
Посилання:
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского / Г.П. Ковтун, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
Дата:
2006
Переглядів:
831
Завантажень:
1348
Анотація:
Рассмотрены современные достижения в создании ростового оборудования для производства ПИ-GaAs методом ЖГЧ. Приведены сравнительные характеристики и анализ установок нового и предшествующего поколений.
