Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники

dc.contributor.author	Митягин, А.Ю.
dc.contributor.author	Алтухов, А.А.
dc.contributor.author	Митягина, А.Б.
dc.date.accessioned	2013-12-22T21:23:27Z
dc.date.available	2013-12-22T21:23:27Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники / А.Ю. Митягин, А.А. Алтухов, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 1. — С. 53-58. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52028
dc.description.abstract	Разработана технология и создан производственный участок отбора и сортировки алмазов по электрофизическим свойствам. Разработаны технологии и оборудование для прецизионной лазерной резки и обработки алмазных материалов.	uk_UA
dc.description.abstract	Розроблено методи відбору і сортування алмазів по електрофізичним властивостям сучасними фізичними методами аналізу, технології прецизійного лазерного різання алмазів, їх обробки на основі термохімічних реакцій в газовому середовищі. Створена експериментальна установка для полірування і шліфування алмазних пластин, установка для різання, установка плазмохімічної обробки. Розробленo методики вимірювання шорсткості поверхні оброблених пластин і контролю параметрів шорсткості. Приведено деякі експериментальні результати	uk_UA
dc.description.abstract	The methods of selection and sorting of diamonds according to their physical properties by modern physical methods of the analysis are developed, as well as the technologies of precision laser cutting of diamonds, their processing on a basis of thermochemical reactions in gas environment. The experimental installation for polishing and grinding of diamond plates, installation for slicing, installation for plasma-chemical processing are created. The techniques of surface roughness measurement of the processed plates and control of roughness parameters are developed. Some experimental results are given.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники	uk_UA
dc.title.alternative	Технологія та обладнання для обробки алмазних материалів сучасної електроніки	uk_UA
dc.title.alternative	Technology and equipment for processing diamond materials of modern electronics	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA