Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.