Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния

dc.contributor.author	Дружинин, А.А.
dc.contributor.author	Кутраков, А.П.
dc.contributor.author	Марьямова, И.И.
dc.date.accessioned	2013-12-07T14:49:10Z
dc.date.available	2013-12-07T14:49:10Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51721
dc.description.abstract	Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.	uk_UA
dc.description.abstract	Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації.	uk_UA
dc.description.abstract	Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника	uk_UA
dc.title	Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.315.592