Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006 (том 8)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006, № 2
→
Переглянути статтю

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Косско, И.А. ; Крючин, А.А. ; Панкратова, А.В. ; Коржинский, Ф.И. ; Середа, Л.Д. ; Середа, И.В.

Інші назви: Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках
Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates

Тема: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних

УДК: 004.85

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50836

Посилання: Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.

Підтримка: Коллектив авторов благодарит старших научных сотрудников ИФП НАН Украины О. Литвин и П. Литвина за многолетнюю плодотворную работу по анализу рельефных микроструктур, осуществленную и в представленной статье.

Дата: 2006

Завантажень: 795

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Анотація:

Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.

Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії.

An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used.

Показати повний запис статті