Представлены результаты разработки и некоторые результаты исследования полупроводниковых цифровых интерферометров. Обоснована возможность их применения в наноизмерениях, в частности, при управлении лучом лазера в сверхплотной оптической записи информации, сейсмических измерениях и гравиметрии.
The results of development and some results upon researches of digital semiconductor interferometers are presented. The possibility of their use in nano-measurements, particularly for laser beam control in high-density optical data storage, seismic measurements and gravimetry, has been clearly demonstrated.