Филатов, Ю.Д.
(Сверхтвердые материалы, 2008)
На основе кластерной и физико-статистической моделей образования частиц шлама обрабатываемого материала описаны закономерности образования микрорельефа полированной поверхности. Показано, что производительность полирования ...