Филатов, Ю.Д.; Сидорко, В.И.; Ковалев, С.В.; Ветров, А.Г.
(Сверхтвердые материалы, 2017)
На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных ...