Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль

Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль

Томашик, В.Н. ; Окрепка, Г.М. ; Томашик, З.Ф. ; Моравец, П. ; Гешл, П.

Інші назви: Formation of the ZnxCd₁-xTe solid solution single crystal polished surfaces with the HNO₃–HBr–ethylene glycol etchants

Тема: Физико-химия поверхностных явлений

УДК: 621.794 4 : 546.47/48 24

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/146921

Посилання: Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль / В.Н. Томашик, Г.М. Окрепка, З.Ф. Томашик, П. Моравец, П. Гешл // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 186-192. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Дата: 2008

Завантажень: 270

Формирование полированной поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль

Анотація:

Исследован процесс химического травления поверхности монокристаллов твердых растворов ZnxCd₁-xTe бромвыделяющими травителями HNO₃–HBr–этиленгликоль. Изучены зависимости скоростей растворения кристаллов от состава травителей, скорости перемешивания и температуры, а также состояние поверхности после полирования методами металлографического и профилографического анализов. Определены концентрационные границы растворов для химико-динамического полирования рассмотренных полупроводников.

Chemical etching of the ZnхCd₁-хTe solid solution single-crystals surfaces in the bromine emerging etchants based on HNO₃–HBr–С₃Н₆О₃ system has been studied. Crystal etching rate dependences has been studied on etchant composition, disc rotation speed and temperature as well as surface status after chemical polishing using metallography and profilography. The etchant optimum compositions have been found for the chemical-dynamic polishing of ZnхCd₁-хTe solid solutions.

Показати повний запис статті