The effects of N₂ partial pressure in the unbalanced magnetron sputtering process on the microstructure, hardness, and thermal stability of the CrZrSiN nanocomposite coating were investigated. A
Досліджено вплив парціального тиску N₂ в процесі незбалансованого магнетронного розпилення на мікроструктуру, твердість і термостабільність нанокомпозитного покриття CrZrSiN.
Исследовано влияние парциального давления N₂ в процессе несбалансированного магнетронного распыления на микроструктуру, твердость и термостабильность нанокомпозитного покрытия CrZrSiN.
This research was supported by a grant from the Advanced Technology Center (ATC) Program funded by the Ministry of Trade, Industry& Energy of Korea.