Лінійне спектральне картографування полікристалічних алмазних плівок

Abstract

Наведено результати топографування просторового розподілу інтенсивності коливальних смуг різнотипових алмазних полікристалічних плівок, отриманих методом хімічного осадження з газової фази. Розглянуто практичні питання використання такої методики для аналізу просторової структурної досконалості та домішкового складу досліджуваних алмазних матеріалів.

Приведены результаты топографирования пространственного распределения интенсивности колебательных полос разнотипных алмазных поликристаллических пленок, полученных методом химического осаждения из газовой фазы. Рассмотрены практические вопросы использования такой методики для анализа пространственного структурного совершенства и примесного состава исследуемых алмазных материалов.

The topography results of the spatial distribution of the vibration band intensities have been presented for different types of the diamond polycrystalline films grown by chemical vapor deposition. The practical issues of using such techniques for the spatial analysis of the structural perfection and the impurity composition of the investigated diamond materials have been considered.