Structural and optical characteristics of disordered silicon carbide films

Abstract

Using spectrophotometry and electron microscopy, the properties of disordered SiC films have been studied. A nontrivial character of spectral absorption has been revealed depending on the structural and polytype constitution of the films. SiC polytypes forming the film and the band gap widths have been determined. It has been shown that in this case, it is possible to obtain the information on the optical band-to-band transition modification depending on the film structure property and phase composition as well as on the influence of various phases and SiC film crystallinity extent on the band gap width.

3 використанням методів спектрофотометрії і електронної мікроскопії досліджено властивості невпорядкованих плівок карбіду кремнію. Виявлено нетривіальний характер спектра поглинання, залежний від структури і політипного складу плівок. Визначено політипи карбіду кремнію, що входять до складу плівки, і значення оптичної ширини забороненої зони. Показано, що при цьому можна отримати інформацію про видозміну оптичних міжзонних переходів залежно від зміни структури і фазового складу плівок, про впливи різних фаз та міри кристалічності плівок SiC на ширину забороненої зони.

С использованием методов спектрофотометрии и электронной микроскопии изучены свойства неупорядоченных плёнок карбида кремния. Обнаружен нетривиальный характер спектра поглощения, зависящий от структуры и политипного состава плёнок. Определены политипы карбида кремния, входящего в состав плёнки и величины оптической ширины запрещённой зоны. Показано, что при этом можно получить информацию о видоизменении оптических межзонных переходов в зависимости от изменения структуры и фазового состава плёнок и о влиянии различных фаз и степени кристалличности плёнок SiC на ширину запрещённой зоны.