Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Журнал физики и инженерии поверхности
→
Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, том 2
→
Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, № 2-3
→
Переглянути статтю

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Азарєнков, М.О. ; Дудін, С.В. ; Зиков, О.В. ; Фаренік, В.І. ; Яковін, С.Д.

Інші назви: Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий
Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies

УДК: 537.521.7

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544

Посилання: Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.

Підтримка: Робота виконана при частковому фінансуванні Міністерством освіти і науки України за темами науково-дослідних робіт 0117U004875 та 0115U003166. Автори вдячні Турбіну П. В. за увагу до роботи.

Дата: 2017

Завантажень: 514

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Анотація:

Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.

Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности.

The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.

Показати повний запис статті