Дослідження тонких зносостійких вуглецевих покриттів і структур, сформованих термічним випаровуванням у вакуумі на п‘єзокерамічних матеріалах

Abstract

Досліджено функціональні особливості отримання тонких зносостійких покриттів через вивчення умов їхнього формування термовакуумним осадженням на поверхнях п’єзокерамічних матеріалів. Виявлено вплив низькоенергетичного стрічкового електронного потоку на фізико-експлуатаційні характеристики поверхонь п’єзокерамічних елементів, що експлуатуються в умовах агресивних середовищ. Встановлено, що модифікація низькоенергетичним електронним потоком (Е ≤ 6 кеВ) поверхонь п’єзоелементів з кераміки ЦТС-19 покращує мікрогеометрію цих поверхонь, сприяє формуванню на них вуглецевих структур, що підвищує на 8–12 % їхню мікротвердість.

Исследованы функциональные особенности получения тонких износостойких покрытий при изучении условий их формирования термовакуумным осаждением на поверхностях пьезокерамических материалов. Обнаружено влияния низкоэнергетического ленточного электронного потока на физико-эксплуатационные характеристики поверхностей пьезокерамических элементов, которые эксплуатируются в условиях агрессивных сред. Установлено, что модификация низкоэнергетическим электронным потоком (Е ≤ 6 кэВ) поверхностей пьезоэлементов из керамики ЦТС-19 улучшает микрогеометрию этих поверхностей, способствует формированию на них углеродных структур, что повышает на 8–12 % их микротвердость.

Functional features of producing thin wear-resistant coatings have been studied by analyzing the conditions of their formation via thermal vacuum deposition on the surfaces of piezoceramic materials. The effect has been revealed of low-energy ribbon flow on physical and operating characteristics of surfaces of piezoceramic elements, which operate in aggressive media. It has been found that the modification of surfaces of piezoelectric cells from the TsTC-19 ceramics by low-energy ribbon flow (E ≤ 6 keV) improves the microgeometry of these surfaces, promotes the formation of carbon structures on them, which increases the surface microhardness by 8–12%.