Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме

Abstract

Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с sp²-координированным углеродом) наночастицы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием предкерамических полимеров поли(нафтилгидрокарбина) и поли(гидрокарбина) в смеси метан–водород в СВЧ-плазме синтезированы микрокристаллические алмазные пленки.

Показано, що шари певного типу полімерів, які нанесені на підкладку з кремнію, утворюють при термічній деструкції (разом з sp²-координованим вуглецем) наночастинки алмазу, котрі служать центрами зародження кристалітів при наступному осадженні алмазу з газової фази. З використанням передкерамічних полімерів полі(нафтилгідрокарбінуа) і полі(гідрокарбіну) в сумішах метан–водень в НВЧ-плазмі синтезовані мікрокристалічні алмазні плівки.

It has been shown that layers of a certain type polymers applied to silicon substrates at the thermal destruction form (in parallel with sp² coordinated carbon) diamond nanoparticles, which act as nucleation centers of crystallites in the subsequent chemical vapor deposition of diamond. Microcrystalline diamond films have been synthesized from methane–hydrogen mixtures by microwave plasma using poly(naphthylhydrocarbin) and poly(hydrocarbin) preceramic polymers.