Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС

Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС

Інші назви: Юстировка порогової напруги у технологiї виготовлення ВIС
The adjustment of threshold powers in LSIC technology

Тема: Технологические процессы

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122697

Посилання: Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС / С.П. Новосядлый, Я.С. Буджак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 2-3. — С. 20-23. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Дата: 1999

Завантажень: 281

Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС

Анотація:

На основе H-MOS-технологии разработаны новые методы контроля малых доз ионного легирования в системной технологии микроэлектроники.

Based on H-MOS technology the process control inspection new methods of dosage concentration of doping in system technology of microelectronics have been developed.

Показати повний запис статті