Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Тема:
Научно-промышленные центры СНГ
Посилання:
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос.
Дата:
1999
Переглядів:
609
Завантажень:
299
Анотація:
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.
