Оптимизация параметров зондоформирующей системы ядерного сканирующего микрозонда на базе электростатического ускорителя «Сокол»

Abstract

Рассмотрены принципы оптимизации геометрических и физических параметров зондоформирующей системы ядерного микрозонда. Критерием оптимальности системы была выбрана величина тока пучка, который может быть сфокусирован в пятно на мишени заданных размеров. Результаты оптимизационных расчетов сравнивались с экспериментальными данными, полученными за счет детектирования вторичной электронной эмиссии при сканировании пучком калиброванной медной сетки.

Розглянуто принципи оптимізації геометричних та фізичних параметрів зондоформуючої системи ядерного мікрозонду. За критерій оптимальності системи було прийняте значення струму пучка, який може бути сфокусований у пляму на мішені певних розмірів. Значення оптимізаційних розрахунків порівнювалися з експериментальними даними, отриманими за рахунок детектування вторинної електронної емісії при скануванні пучком каліброваної мідної сітки.

Optimization principles for geometric and physical parameters of probe forming system of nuclear microprobe were considered. Current value of beam which can be focused on the defined target spot was chosen as a criterion of optimum. The optimizing calculation results were compared with experimental data obtained by detecting of the secondary electron emission when the calibrated copper grid was being scanned by the beam.