Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Gautier, T. |
|
dc.contributor.author |
Carrasco, N. |
|
dc.contributor.author |
Mahjoub, A. |
|
dc.contributor.author |
Stefanovic, I. |
|
dc.contributor.author |
Szopa, C. |
|
dc.contributor.author |
Cernogora, G. |
|
dc.contributor.author |
Hadamcik, E. |
|
dc.contributor.author |
Winter, J. |
|
dc.date.accessioned |
2016-11-22T10:39:45Z |
|
dc.date.available |
2016-11-22T10:39:45Z |
|
dc.date.issued |
2013 |
|
dc.date.submitted |
2013 |
|
dc.identifier.citation |
Use of the linear absorption coefficient for absolute comparison of plasma films in the mid-IR range / T. Gautier, N. Carrasco, A. Mahjoub, I. Stefanovic, C. Szopa, G. Cernogora, E. Hadamcik, J. Winter // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 168-170. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1562-6016 |
|
dc.identifier.other |
PACS: 52.25.-b |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109261 |
|
dc.description.abstract |
In this work, we present the mid-infrared analysis of analogues of Titan's aerosols produced in a radio frequency capacitively coupled plasma (RF-CCP). The influence of the gas mixture on aerosols spectra is also studied through the analysis of the carbonaceous bands of the spectra, and its Gaussian deconvolution. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Представлен анализ в среднем инфракрасном диапазоне аналогов титановых аэрозолей, которые производятся в радиочастотных источниках плазмы с емкостной связью (РЧ-ЕСС). Также изучено влияние газовой смеси на спектры аэрозолей с помощью анализа углеродсодержащих полос спектра и ее гауссовой деконволюции (обратная свертка). |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Представлено аналіз у середньому інфрачервоному діапазоні аналогів титанових аерозолів, які проводяться в радіочастотних джерелах плазми з ємнісним зв'язком (РЧ-ЕСС). Також вивчено вплив газової суміші на спектри аерозолів за допомогою аналізу вуглецевмісних смуг спектра і її гауссової деконволюції (зворотня згортка). |
uk_UA |
dc.language.iso |
en |
uk_UA |
dc.publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Вопросы атомной науки и техники |
|
dc.subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
uk_UA |
dc.title |
Use of the linear absorption coefficient for absolute comparison of plasma films in the mid-IR range |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Использование линейного коэффициента поглощения для абсолютного сравнения плазменных пленок в среднем ИК-диапазоне |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Використання лінійного коефіцієнта поглинання для абсолютного порівняння плазмових плівок у середньому ІЧ-діапазоні |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті